X射线光电子能谱仪
品 牌：岛津(香港)有限公司
型 号：KRATOS AXIS ULTRA (DLD)
存放位置：仪器室（2）
主要参数：X射线源：
单色化Al靶、双阳极Al/Mg靶；
功率：450W（最大）
样品分析室（SAC）：
小于5×10-10 Torr（最低压强）；
样品处理室（STC）：
小于5×10-9 Torr（最低压强）
单色器Al靶：700×300μm；
双阳极Al/Mg靶：2000×800μm
微区XPS分析区域:
110μm，55μm，27μm和15μm
离子枪：离子源：Ar；束流：5μA（最大）
UPS：光源：He紫外光源；
He（I）/He（II）比例： 4:1；
功率：30W（最大）
AES：电子枪：Schottky场发射；
电子能量：10keV（最大）
XPS：能量分辨率：
0.48eV/（Ag 3d5/2）；0.68eV/（C 1s）；
最小分析区域（收谱） <15μm；
灵敏度：大面积 11，800kcps；
110μm 1，800kcps；27μm 100kcps；
成像空间分辨率：小于3μm
UPS：能量分辨率：
Ag表面费米边在20%到80%结合能差不高于120meV；
灵敏度：Ag 4d峰不低于1，000kcps
AES：灵敏度：
大于500kcps（10kV/5nA时Cu的LMM峰）；
信噪比：500:1
SEM：分辨率：
在10kV/5nA时优于100nm；
在3kV/5nA时优于300nm
