型号:6517B
技术指标
测量温度:室温
测试范围:<1018 Ω
测量标准:ASTM D257
电流测量分辨率:10 aA (10×10-18 A)
内置测量序列,支持四种不同器件表征测试、表面和体积电阻、表面绝缘电阻和压电扫描