电子枪类型：肖特基场发射电子枪

分辨率：1 nm@30 kV, SE；0.9 nm@30 kV, STEM

加速电压：200 V ~ 30 kV

放大倍率：最高100万倍

具有低真空模式，可直接观测导热性弱的样品

可自动亮度对比度，自动聚焦，自动矫正像散

配备样品交换舱，以及轨迹球和旋钮控制面板

配备EDS能谱仪（进口）、配备高真空离子溅射仪、电子伸缩式STEM探测器

可选配背散射电子探测器，以及EBSD背散射衍射