加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆;温区:2个;加热区域:400mm(200mm+200mm);工作温度:最高1200℃,连续工作1100℃;最大升降温速率:10℃/min;控温精度:±1℃;真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)